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  • CL
  • HORIBA
  • MP-VS Series
  • 전자빔 방사선 조사에 의해 시료에서 발생하는 Cathodoluminescence을
    이용하여 미세한 영역의 물성 평가, 구조의 관찰, 와이드 간격, 재료 등의
    결함 불순 평가 등 다양한 평가가 가능.
  • SEM에 설치하여 나노 영역의 미세한 영역을 간단하게 측정가능.
  • 용도
  • 반도체 등의 불순물 결함 평가
  • 응력 분포 평가
  • 산화막의 결함 구조 분포 평가
  • 발광 소자 평가
  • 전자 장치의 기초 재료 평가
  • 장치의 특성 분석
  • 3차원적인 양자 구조의 평가
  • Device configuration
      Type1 Type2
    CL mirror Yes Yes
    CL Collection Unit Yes Yes
    Optical Fiber Yes Yes
    Spectrograph VS-70(includes CCD detector) VS-140(includes CCD detector)
    Laptop Yes Yes
    Specifications
    CL mirror Ellipsoidal mirror (WD=10)  
    CL Collection Unit Mirror stroke 150mm - 200mm  
    Optical Fiber Single core quartz fiber
    Core diameter: 100μm
    Length: 2m
     
    Spectrograph VS70 VS140
    Focal distance 70mm 140mm
    Numerical aperture f/2 f/2.4
    Meas.length range 280-800nm
    380-780nm(VIS)
    400-1100nm(VIS-NIR)
    200-800nm (UV-VIS)
    Wavelength resolution 2.0nm
    1.4nm(VIS)
    3.0nm(VIS-NIR)
    2.3nm (UV-VIS)
    Linearity 0.5nm 0.5nm
    Repeatability 0.1nm 0.1nm
    Detector LinearCCD (2048Pixel) LinearCCD (3864Pixel)
    Interface USB2.0