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QUANTAX CrystAlign - 사용하기 쉬운 EBSD 분석 시스템
- e-Flash EBSD detector는 최대한의 분석적인 유연성을 위하여
제자리에서 수직으로 조절 가능. - ARGUSTM forescattered/backscattered electron 이미지 시스템을 제공.
- e-Flash 1000의 Fast acquisition : Pattern Streaming with 630
patterns/s(4X4 binning) or 850 patterns/s (8X8 binning). - e-Flash HR의 High resolution pattern acquisition : Pattern image up
to 1600X1200 pixels. - LED detector 위치 장치와 안전 작동에 대한 다양한 특징.
- 통합되어진 모든 전자 장치와 함께 detector를 조종하는 완벽한
소프트웨어. - 가능한 최고의 속도로 동시적인 EBSD와 EDS acqusition.
- 54,000 point/s정도의 빠른 re-indexing.
- Acquisition setup에 대한 Signal Assistant.
- Geometrical setup에 대한 Calibration Assistant.
- 임의로 선택 가능한 스캔 범위.
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1. 사용하기 쉬운 Software
- 시간을 소비하는 업무의 처리와 간단한 작동이라는 자동화 특징을 포함하였으며, 1인 유저 인터페이스로
모든 software option을 통합. - Signal Assistant
- 카메라 셋팅을 조절하기 위한 software tool로 노출된 pattern image의 최적화.
- 측정 조건이 변경시 re-adjustment만으로 조절가능.
- Calibration Assistant
- 정확한 pattern center calibration은 정확한 indexing을 위하여 phase의 misidentification을 피하는 것이
절대적으로 필요. - QUANTAX Crystalign은 정교한 Calibration Assistant를 제공하며 분석하고있는 현재 sample에 대한
calibration 작업을 자동적으로 실행(NO standard calibration). - 편리한 작동을 위한 완벽한 소프트웨어의 통합
- ESPRIT EDS software통합으로 다른 분석적인 목적을 위하여 빈번하게 프로그램을 바꿔 사용하는
것에 용이. - 마우스 클릭만으로 EBSD와 EDS 분석이나 EBSD작업 영역에서 다른 업무로 전환하는 것이 가능.
- Signal Assistant
- 카메라 셋팅을 조절하기 위한 software tool로 노출된 pattern image의 최적화.
- 측정 조건이 변경시 re-adjustment만으로 조절가능.
- Signal Assistant
- 카메라 셋팅을 조절하기 위한 software tool로 노출된 pattern image의 최적화.
- 측정 조건이 변경시 re-adjustment만으로 조절가능.
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2. Presentation Options – A Variety of Presentation Tools for
Optimum Visualization of Results
EBSD에 적합한 여러가지 data representation tool을 제공 - Phase map
- Pattern quality map
- Pole figures(극점도)
- Inverse pole figures(IPF)
- IPF map
- Euler map
- 마우스 클릭으로 상세한 결정학적인 data에 접근이 가능하며 moise cusor가 가르키는 지점에 따라
mapping point에 대한 결과 정보가 표시.
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3. RE-indexing
- 짧은 시간에 안에 re-indexing measurement가능(단결정 재료는 3. 약 54,000 point/s로 re-index 가능)
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4. EBSD와 EDS 동시 분석 – 최고로 빠른 SPEED
- EDS와 EBSD detector간에 적절한 위치로 최적의 측정 조건을 성취.
- XFlash® EDS detector의 count rate 능력은 동시적인 EBSD와 EDS data acquisition에 대하여
520 patterns/s까지의 빠른 속도로 가능. - Point spectra를 형성하는 hyperspectral database에서 EDS 정보 수집(Hypermap).
- EBSD data와 같이 EDS date는 손실이 없는 format으로 저장.
- Sample reanalysis의 방법으로 EBSD와 EDS 측정을 복합하여 동시에 분석 가능.
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혼합된 copper-aluminumcopper에서 (Cu)와 aluminum(Al)은
실제로 EBSD만으로 구분이 어려워 대부분 Cu로 indexing.reanlysis는 EDS 정보를 이용하여 Cu(left)와 Al(right)으로
정확하게 분리 가능.
Detector 정보
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1. e–Flash 1000 EBSD Detector
- e–Flash 1000은 4X4 binning을 이용하여 620 patterns/s 에서 향상된 정확성을 위하여
880 patterns/s까지 빠른 speed의 측정이 가능합니다. - Pattern streaming을 통한 drift효과 최소화
- 짧은 acquisition time으로 pattern quality 향상
- e-Flash 1000의 Fast acquisition : Pattern Streaming with 620 patterns/s (4X4 binning) or
880 patterns/s (8X8 binning) - 빠른 속도에서도 뛰어난 정확성
- 빠른 저장 능력
- 빠른 측정 속도에서도 훌륭한 angular resolution 제공
- 최대 640x480 resolution에서 작동, 210 patterns/s 습득
- 제자리에서 조정 가능한 수직적인 detector position
- SEM 작동중에도 최대한의 분석적인 유연성을 위하여 제자리에서 수직으로 조절 가능
(분석 중에도 working distance를 조절하여 signal을 최적화 하는데 유용) - 안전한 작동
- detector 스크린이 현재 SEM chamber안으로 얼마만큼 들어왔는지 Blue LED 위치 표시로 확인 가능
- 통합적인 터치 센서로 10mm/s까지의 스피드로 detector 스크린의 즉각적인 retraction 가능
- 옵션으로 이용 가능한 ARGUS™ FSE/BSE detector
- FSE/BSE detector (ARGUSTM ) 이용가능
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2. e–Flash HR EBSD Detector
- e-FlashHR는 대략 2Megapixels(1600 x 1200 pixels)의 resolution을 가지며 이는 미세한 pattern을
상세하게 표시할 수 있습니다.(high resolution과 sensitivity 제공) - The list of suitable applications includes:
- 낮은 beam current operation
- 낮은 kV operation
- 전도성이 좋지 않은 samples
- nanomaterials
- pseudosymmetries의 분석
- lattice strain investigation
- data acuisition의 최대 flexibility
- in-situ tilting mechanism을 통하여 형광 스크린의 수직적인 이동 option 제공
- SEM작동 중에도 비교적 크고 매우 작은 samples을 다양한 working distance에서 지원 엔진이 달린
매우 정확한 구동장치로 소프트웨어로 조정 가능하며, detector 외부의 사이드 위에 터치 패널을
이용함으로써 손으로 작동 가능 - 안전한 작동
- detector 스크린이 현재 SEM chamber안으로 얼마만큼 들어왔는지 Blue LED 위치 표 시로 확인 가능
- 통합적인 터치 센서로 10mm/s까지의 스피드로 detector 스크린의 즉각적인 retraction 가능
- 옵션으로 이용 가능한 ARGUS™ FSE/BSE detector
- FSE/BSE detector (ARGUSTM ) 이용가능
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3. ARGUS FSE/BSE detectors for e-Flash
- e-Flash 1000과 e-Flash HR에서 옵션으로 ARGUS™ forescattered electron(FSE) and
backscattered electron(BSE) detectors 이용가능 - 2개의 BSE detector set은 EBSD detector의 screen 위에 고정되어있고 3개의 FSE detector는
스크린 아래에 고정 - e-Flash의 performance나 사용자 편의에 영향을 주지 않는 detector의 위치
- detector와 가깝게 위치한 preamplifiers 로 signal loss 최소화
- BSE detector for improved image quality
- ARGUSTM BSE detector는 high tilt angle로 있는 sample로부터 BSE signal을 얻는데 최적화된
위치 구조를 가짐 - Colorful orientation images with Bruker's ARGUS FSE detectors
- EBSD screen 아래에 있는 3개의 ARGUSTM FSE detector는 회절 신호를 모아 Color cording과
각각의 detector signals을 mixing하여 grain structure의 컬러풀한 이미지를 생성하며 BRUKER의
FSE detector에서의 유일한 특징 - FSE 이미지의 명확성은 sample preparation의 quality를 나타냄
<Image as obtained with standard FSE detectors> <Color coded image produced by Bruker's FSE detectors>