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  • QUANTAX CrystAlign - 사용하기 쉬운 EBSD 분석 시스템
  • e-Flash EBSD detector는 최대한의 분석적인 유연성을 위하여
    제자리에서 수직으로 조절 가능.
  • ARGUSTM forescattered/backscattered electron 이미지 시스템을 제공.
  • e-Flash 1000의 Fast acquisition : Pattern Streaming with 630
    patterns/s(4X4 binning) or 850 patterns/s (8X8 binning).
  • e-Flash HR의 High resolution pattern acquisition : Pattern image up
    to 1600X1200 pixels.
  • LED detector 위치 장치와 안전 작동에 대한 다양한 특징.
  • 통합되어진 모든 전자 장치와 함께 detector를 조종하는 완벽한
    소프트웨어.
  • 가능한 최고의 속도로 동시적인 EBSD와 EDS acqusition.
  • 54,000 point/s정도의 빠른 re-indexing.
  • Acquisition setup에 대한 Signal Assistant.
  • Geometrical setup에 대한 Calibration Assistant.
  • 임의로 선택 가능한 스캔 범위.
  • 1. 사용하기 쉬운 Software
  • 시간을 소비하는 업무의 처리와 간단한 작동이라는 자동화 특징을 포함하였으며, 1인 유저 인터페이스로
    모든 software option을 통합.
  • Signal Assistant
  • 카메라 셋팅을 조절하기 위한 software tool로 노출된 pattern image의 최적화.
  • 측정 조건이 변경시 re-adjustment만으로 조절가능.
  • Calibration Assistant
  • 정확한 pattern center calibration은 정확한 indexing을 위하여 phase의 misidentification을 피하는 것이
    절대적으로 필요.
  • QUANTAX Crystalign은 정교한 Calibration Assistant를 제공하며 분석하고있는 현재 sample에 대한
    calibration 작업을 자동적으로 실행(NO standard calibration).
  • 편리한 작동을 위한 완벽한 소프트웨어의 통합
  • ESPRIT EDS software통합으로 다른 분석적인 목적을 위하여 빈번하게 프로그램을 바꿔 사용하는
    것에 용이.
  • 마우스 클릭만으로 EBSD와 EDS 분석이나 EBSD작업 영역에서 다른 업무로 전환하는 것이 가능.
  • Signal Assistant
  • 카메라 셋팅을 조절하기 위한 software tool로 노출된 pattern image의 최적화.
  • 측정 조건이 변경시 re-adjustment만으로 조절가능.
  • Signal Assistant
  • 카메라 셋팅을 조절하기 위한 software tool로 노출된 pattern image의 최적화.
  • 측정 조건이 변경시 re-adjustment만으로 조절가능.
  • 2. Presentation Options – A Variety of Presentation Tools for
       Optimum Visualization of Results
       EBSD
    에 적합한 여러가지 data representation tool을 제공
  • Phase map
  • Pattern quality map
  • Pole figures(극점도)
  • Inverse pole figures(IPF)
  • IPF map
  • Euler map
  • 마우스 클릭으로 상세한 결정학적인 data에 접근이 가능하며 moise cusor가 가르키는 지점에 따라
    mapping point에 대한 결과 정보가 표시.
  • 3. RE-indexing
  • 짧은 시간에 안에 re-indexing measurement가능(단결정 재료는 3. 약 54,000 point/s로 re-index 가능)
  • 4. EBSDEDS 동시 분석 – 최고로 빠른 SPEED
  • EDS와 EBSD detector간에 적절한 위치로 최적의 측정 조건을 성취.
  • XFlash® EDS detector의 count rate 능력은 동시적인 EBSD와 EDS data acquisition에 대하여
    520 patterns/s까지의 빠른 속도로 가능.
  • Point spectra를 형성하는 hyperspectral database에서 EDS 정보 수집(Hypermap).
  • EBSD data와 같이 EDS date는 손실이 없는 format으로 저장.
  • Sample reanalysis의 방법으로 EBSD와 EDS 측정을 복합하여 동시에 분석 가능.
  • 혼합된 copper-aluminumcopper에서 (Cu)와 aluminum(Al)은
    실제로 EBSD만으로 구분이 어려워 대부분 Cu로 indexing.
    reanlysis는 EDS 정보를 이용하여 Cu(left)와 Al(right)으로
    정확하게 분리 가능.
Detector 정보
  • 1. e–Flash 1000 EBSD Detector
  • e–Flash 1000은 4X4 binning을 이용하여 620 patterns/s 에서 향상된 정확성을 위하여
    880 patterns/s까지 빠른 speed의 측정이 가능합니다.
  • Pattern streaming을 통한 drift효과 최소화
  • 짧은 acquisition time으로 pattern quality 향상
  • e-Flash 1000의 Fast acquisition : Pattern Streaming with 620 patterns/s (4X4 binning) or
    880 patterns/s (8X8 binning)
  • 빠른 속도에서도 뛰어난 정확성
  • 빠른 저장 능력
  • 빠른 측정 속도에서도 훌륭한 angular resolution 제공
  • 최대 640x480 resolution에서 작동, 210 patterns/s 습득
  • 제자리에서 조정 가능한 수직적인 detector position
  • SEM 작동중에도 최대한의 분석적인 유연성을 위하여 제자리에서 수직으로 조절 가능
    (분석 중에도 working distance를 조절하여 signal을 최적화 하는데 유용)
  • 안전한 작동
  • detector 스크린이 현재 SEM chamber안으로 얼마만큼 들어왔는지 Blue LED 위치 표시로 확인 가능
  • 통합적인 터치 센서로 10mm/s까지의 스피드로 detector 스크린의 즉각적인 retraction 가능
  • 옵션으로 이용 가능한 ARGUS™ FSE/BSE detector
  • FSE/BSE detector (ARGUSTM ) 이용가능
  • 2. e–Flash HR EBSD Detector
  • e-FlashHR는 대략 2Megapixels(1600 x 1200 pixels)의 resolution을 가지며 이는 미세한 pattern을
    상세하게 표시할 수 있습니다.(high resolution과 sensitivity 제공)
  • The list of suitable applications includes:
  • 낮은 beam current operation
  • 낮은 kV operation
  • 전도성이 좋지 않은 samples
  • nanomaterials
  • pseudosymmetries의 분석
  • lattice strain investigation
  • data acuisition의 최대 flexibility
  • in-situ tilting mechanism을 통하여 형광 스크린의 수직적인 이동 option 제공
  • SEM작동 중에도 비교적 크고 매우 작은 samples을 다양한 working distance에서 지원 엔진이 달린
    매우 정확한 구동장치로 소프트웨어로 조정 가능하며, detector 외부의 사이드 위에 터치 패널을
    이용함으로써 손으로 작동 가능
  • 안전한 작동
  • detector 스크린이 현재 SEM chamber안으로 얼마만큼 들어왔는지 Blue LED 위치 표 시로 확인 가능
  • 통합적인 터치 센서로 10mm/s까지의 스피드로 detector 스크린의 즉각적인 retraction 가능
  • 옵션으로 이용 가능한 ARGUS™ FSE/BSE detector
  • FSE/BSE detector (ARGUSTM ) 이용가능
  • 3. ARGUS FSE/BSE detectors for e-Flash
  • e-Flash 1000과 e-Flash HR에서 옵션으로 ARGUS™ forescattered electron(FSE) and
    backscattered electron(BSE) detectors 이용가능
  • 2개의 BSE detector set은 EBSD detector의 screen 위에 고정되어있고 3개의 FSE detector는
    스크린 아래에 고정
  • e-Flash의 performance나 사용자 편의에 영향을 주지 않는 detector의 위치
  • detector와 가깝게 위치한 preamplifiers 로 signal loss 최소화
  • BSE detector for improved image quality
  • ARGUSTM BSE detector는 high tilt angle로 있는 sample로부터 BSE signal을 얻는데 최적화된
    위치 구조를 가짐
  • Colorful orientation images with Bruker's ARGUS FSE detectors
  • EBSD screen 아래에 있는 3개의 ARGUSTM FSE detector는 회절 신호를 모아 Color cording과
    각각의 detector signals을 mixing하여 grain structure의 컬러풀한 이미지를 생성하며 BRUKER의
    FSE detector에서의 유일한 특징
  • FSE 이미지의 명확성은 sample preparation의 quality를 나타냄

  •   <Image as obtained with standard FSE detectors> <Color coded image produced by Bruker's FSE detectors>