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QUANTAX CrystAlign - 사용하기 쉬운 EBSD 분석 시스템
e-Flash EBSD detector는 최대한의 분석적인 유연성을 위하여
제자리에서 수직으로 조절 가능.
ARGUSTM forescattered/backscattered electron 이미지 시스템을 제공.
e-Flash 1000의 Fast acquisition : Pattern Streaming with 630
patterns/s(4X4 binning) or 850 patterns/s (8X8 binning).
e-Flash HR의 High resolution pattern acquisition : Pattern image up
to 1600X1200 pixels.
LED detector 위치 장치와 안전 작동에 대한 다양한 특징.
통합되어진 모든 전자 장치와 함께 detector를 조종하는 완벽한
소프트웨어.
가능한 최고의 속도로 동시적인 EBSD와 EDS acqusition.
54,000 point/s정도의 빠른 re-indexing.
Acquisition setup에 대한 Signal Assistant.
Geometrical setup에 대한 Calibration Assistant.
임의로 선택 가능한 스캔 범위.

1. 사용하기 쉬운 Software
시간을 소비하는 업무의 처리와 간단한 작동이라는 자동화 특징을 포함하였으며, 1인 유저 인터페이스로
모든 software option을 통합.
Signal Assistant
카메라 셋팅을 조절하기 위한 software tool로 노출된 pattern image의 최적화.
측정 조건이 변경시 re-adjustment만으로 조절가능.
Calibration Assistant
정확한 pattern center calibration은 정확한 indexing을 위하여 phase의 misidentification을 피하는 것이
절대적으로 필요.
QUANTAX Crystalign은 정교한 Calibration Assistant를 제공하며 분석하고있는 현재 sample에 대한
calibration 작업을 자동적으로 실행(NO standard calibration).
편리한 작동을 위한 완벽한 소프트웨어의 통합
ESPRIT EDS software통합으로 다른 분석적인 목적을 위하여 빈번하게 프로그램을 바꿔 사용하는
것에 용이.
마우스 클릭만으로 EBSD와 EDS 분석이나 EBSD작업 영역에서 다른 업무로 전환하는 것이 가능.
Signal Assistant
카메라 셋팅을 조절하기 위한 software tool로 노출된 pattern image의 최적화.
측정 조건이 변경시 re-adjustment만으로 조절가능.
Signal Assistant
카메라 셋팅을 조절하기 위한 software tool로 노출된 pattern image의 최적화.
측정 조건이 변경시 re-adjustment만으로 조절가능.

2. Presentation Options – A Variety of Presentation Tools for
Optimum Visualization of Results
EBSD에 적합한 여러가지 data representation tool을 제공
Phase map
Pattern quality map
Pole figures(극점도)
Inverse pole figures(IPF)
IPF map
Euler map
마우스 클릭으로 상세한 결정학적인 data에 접근이 가능하며 moise cusor가 가르키는 지점에 따라
mapping point에 대한 결과 정보가 표시.

4. EBSD와 EDS 동시 분석 – 최고로 빠른 SPEED
EDS와 EBSD detector간에 적절한 위치로 최적의 측정 조건을 성취.
XFlash® EDS detector의 count rate 능력은 동시적인 EBSD와 EDS data acquisition에 대하여
520 patterns/s까지의 빠른 속도로 가능.
Point spectra를 형성하는 hyperspectral database에서 EDS 정보 수집(Hypermap).
EBSD data와 같이 EDS date는 손실이 없는 format으로 저장.
Sample reanalysis의 방법으로 EBSD와 EDS 측정을 복합하여 동시에 분석 가능.

혼합된 copper-aluminumcopper에서 (Cu)와 aluminum(Al)은
실제로 EBSD만으로 구분이 어려워 대부분 Cu로 indexing.

reanlysis는 EDS 정보를 이용하여 Cu(left)와 Al(right)으로
정확하게 분리 가능.

Detector 정보

1. e–Flash 1000 EBSD Detector
e–Flash 1000은 4X4 binning을 이용하여 620 patterns/s 에서 향상된 정확성을 위하여
880 patterns/s까지 빠른 speed의 측정이 가능합니다.
Pattern streaming을 통한 drift효과 최소화
짧은 acquisition time으로 pattern quality 향상
e-Flash 1000의 Fast acquisition : Pattern Streaming with 620 patterns/s (4X4 binning) or
880 patterns/s (8X8 binning)
빠른 속도에서도 뛰어난 정확성
빠른 저장 능력
빠른 측정 속도에서도 훌륭한 angular resolution 제공
최대 640x480 resolution에서 작동, 210 patterns/s 습득
제자리에서 조정 가능한 수직적인 detector position
SEM 작동중에도 최대한의 분석적인 유연성을 위하여 제자리에서 수직으로 조절 가능
(분석 중에도 working distance를 조절하여 signal을 최적화 하는데 유용)
안전한 작동
detector 스크린이 현재 SEM chamber안으로 얼마만큼 들어왔는지 Blue LED 위치 표시로 확인 가능
통합적인 터치 센서로 10mm/s까지의 스피드로 detector 스크린의 즉각적인 retraction 가능
옵션으로 이용 가능한 ARGUS™ FSE/BSE detector
FSE/BSE detector (ARGUSTM ) 이용가능

2. e–Flash HR EBSD Detector
e-FlashHR는 대략 2Megapixels(1600 x 1200 pixels)의 resolution을 가지며 이는 미세한 pattern을
상세하게 표시할 수 있습니다.(high resolution과 sensitivity 제공)
The list of suitable applications includes:
낮은 beam current operation
낮은 kV operation
전도성이 좋지 않은 samples
nanomaterials
pseudosymmetries의 분석
lattice strain investigation
data acuisition의 최대 flexibility
in-situ tilting mechanism을 통하여 형광 스크린의 수직적인 이동 option 제공
SEM작동 중에도 비교적 크고 매우 작은 samples을 다양한 working distance에서 지원 엔진이 달린
매우 정확한 구동장치로 소프트웨어로 조정 가능하며, detector 외부의 사이드 위에 터치 패널을
이용함으로써 손으로 작동 가능
안전한 작동
detector 스크린이 현재 SEM chamber안으로 얼마만큼 들어왔는지 Blue LED 위치 표 시로 확인 가능
통합적인 터치 센서로 10mm/s까지의 스피드로 detector 스크린의 즉각적인 retraction 가능
옵션으로 이용 가능한 ARGUS™ FSE/BSE detector
FSE/BSE detector (ARGUSTM ) 이용가능

3. ARGUS FSE/BSE detectors for e-Flash
e-Flash 1000과 e-Flash HR에서 옵션으로 ARGUS™ forescattered electron(FSE) and
backscattered electron(BSE) detectors 이용가능
2개의 BSE detector set은 EBSD detector의 screen 위에 고정되어있고 3개의 FSE detector는
스크린 아래에 고정
e-Flash의 performance나 사용자 편의에 영향을 주지 않는 detector의 위치
detector와 가깝게 위치한 preamplifiers 로 signal loss 최소화
BSE detector for improved image quality
ARGUSTM BSE detector는 high tilt angle로 있는 sample로부터 BSE signal을 얻는데 최적화된
위치 구조를 가짐
Colorful orientation images with Bruker's ARGUS FSE detectors
EBSD screen 아래에 있는 3개의 ARGUSTM FSE detector는 회절 신호를 모아 Color cording과
각각의 detector signals을 mixing하여 grain structure의 컬러풀한 이미지를 생성하며 BRUKER의
FSE detector에서의 유일한 특징
FSE 이미지의 명확성은 sample preparation의 quality를 나타냄
<Image as obtained with standard FSE detectors> <Color coded image produced by Bruker's FSE detectors>