• PRODUCTS
  • 제품안내
  • SEM
  • SOFTWARE
  • OPTIONAL DEVICES
  • SUPPLIES
  • Optional Devices
  • 제품안내
  • Optional Devices
  • EBSD
  • EDAX
  • TEAM™EBSD - the Ease of TEAM™with the Power of OIM™
  • OIM 결정 방향 분석 장비
  • SEM에서 발생한 Kikuchi 패턴이 형광 스크린에
    투영 되어 카메라로 받아들여짐
  • 통합된 패턴은 IEEE1394를 통하여 컴퓨터로 전송
  • 전송된 이미지를 화상처리와 데이터등의 수치로
    변환하여 하드디스크에 저장된 후 분석전용
    소프트웨어로 결과를 해석
  • OIM은 정해진 위치의 Point 분석뿐만 아니라
    지정한 범위 내에서 연속 측정하여 Mapping으로
    표현 가능
  • OIM Data Collection EBSD 데이터 수집 소프트웨어
  • OIM Data Collection은 SEM에서 발생된 Kikuchi 패턴을 Indexing하는 소프트웨어로 Data의 손실 없이 고속으로 Indexing이 가능하며(최대 450 Indexed PPS) 7정계 모든 지수부를 높은 정밀도에서 측정 가능
  • OIM Analysis EBSD 데이터 해석 소프트웨어
  • OIM Data Collection에서 수집한 데이터는 OIM Analysis에 의해서 다양한 데이터로 표기 가능
  • 다양한 맵, 차트, 플롯이 가능
  • HighLight 기능에 의한 상호작용적인 데이터 해석 가능
Detector 정보
  • OIM 검출기
  • EBSD 패턴을 이용한 일그러짐 측정을 포함하여
    모든 어플리케이션에 대응하는 만능형 검출기
  • 제 품 명 DigiView IV
    Index rate 150Point/초
    슬라이드부 진공 씰 메탈 빌로우즈
    검출기 동작 모터 드라이브
  • 고속 동작형 OIM 검출기
  • EBSD 패턴을 이용한 일그러짐 측정을 포함하여
    모든 어플리케이션에 대응하는 만능형 검출기
  • 제 품 명 HIKARI
    Index rate 450Point/초
    슬라이드부 진공 씰 메탈 빌로우즈
    검출기 동작 PC제어 모터 드라이브
  • 응용 예 : 가열 스테이지를 이용한 In-Situ 관찰 사례.
  • sample: Equal Channel Angular Processed (ECAP) Copper
  • SEM chamber내에서 샘플을 150℃로 가열하여 보관 유지
  • 상전이가 끝날 때까지 2분마다 65회의 측정 실시