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MagnaRay Spectrometer
- 빠르고 정확한 결과를 위해 최적화된 4세대 WDS MagnaRay
- 거의 모든 종류의 SEM / FE-SEM에 설치가능
- EDS detector port에 설치가능
- WDS chamber volume(약 4 liter)이 작아
SEM의 빠른 진공 가능 - EDS Detector와 같은 Slide위치 조정가능
(Retractable) - Hybrid x-ray optic을 이용하므로, 일반적인
EPMA, WDS보다 5~10배 이상의 Counts를
얻을 수 있음. - 일반적인 EPMA / WDS에 비해 Solid angle이 크므로, Low Beam Currents에서도 사용가능-고효율
Diffractor들을 이용한 Low energy elements 검출
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MagnaRay
- EDS처럼 쉬운 WDS 사용
- NORAN System 7에 완벽한 통합
- WDS assisted peak identification
- SEM에서 EPMA와 동일한 정량분석
- Fully focusing spectrometer
- 4 crystals (2 optional)
- Low energy에서 민감도 향상을 위한 X-ray optic 사용
- Automatic alignment
- High speed
- 밀봉된 Xe gas counter-No P10
- FESEM compatible
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MagnaRay -
Full standards 정량
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MagnaRay -
Low Energy Sensitivity - WDS는 보통 피크들이 중첩되는 낮은 에너지에서 사용됨
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Hardware : Lens
- Parallel beam 안으로 퍼지는 X-ray들을 모으기 위한 렌즈
Hybrid Lens : poly-capillary optics과 glancing incidence x-ray
optics(GIXO)의 결합 - 넓은 에너지 운용 영역
- 낮은 에너지 라인들에서 매우 높은 효율
- 높은 에너지 라인들에서 좋은 효율
- 장점
- 수 nA의 낮은 전류에서도 쉬운 분석이 가능
- 낮은 전압 매우 작은 spot-size에서도 분석 가능
- Beam에 민감한 Sample들도 분석가능
- 특별한 collimator 없이도 EDS와 WDS를 동시에 분석 가능
- 어떤 SEM이든 장착 가능하며 특히 Cold FE-SEM에도 장착 가능
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Hardware : X-ray Counter
- 밀봉된 Xenon counter
- 사용 시간은 10~15년 이상
- Be부터 검출하기 위한 window 사용
- 장점
- P-10가스가 필요없다.
- 매우 일정한 압력으로 일정한 효율
- Gain과 Bias값 고정 : Calibration이 불필요
- 매우 빠르고 정확한 정량 분석
- Standard 데이터가 매우 오랫동안 유효
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Hardware : Motors
- 모터들은 진공의 바깥쪽에 위치
- 강하고 빠른 모터
- 14°~77° 움직이는데 필요한 시간 0.25초 이내
- Diffractor를 바꾸기 위한 시간 3초 이내
- 모터의 정밀도는 0.001도
- 장점
- 데이터 분석의 매우 빠른 시작
- 매우 조용하고 빠른 모터
- Column에 진동 영향을 주지 않는다.
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Hardware : Crystals
- 4개의 기본 Diffractor(특별한 application을 위해 2가지 추가 가능)
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Hardware : Slide Alignment
- 최적의 분석위치를 매우 빠르게 찾을 수 있다.
- SEM Stage 움직임의 정확도에 의존하지 않으며 hysteresis 문제들에서 벗어난다.
- 신뢰할 수 있는 intensity 결과를 가져온다.
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Motor 속도비교
- 다양한 시작 위치에서의 Si-K-PET P/B test
- Fully analysis time (10 sec peak +2*5 sec background)
- Motion overhead only
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Software : Design
- EDS와 완벽히 통합된 Software
- 통합된 program
- 통합된 module
- 통합된 mode
