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- EDAX
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Neptune(EDS / WDS 통합 시스탬)
- HCO(High Collection Optics) 평행 빔 방식을 이용한 고감도 WDS 분석이 가능
- EDS와 동일한 조작으로 WDS 분석 가능
- 기존의 광학계
- Geometry는 원주상에 배치되기 위해 대형화 되었음
- 샘플 분광 결정간의 거리가 길고 높은 빔 전류가 필요함
- 시료의 손상이 큼
- HCO(High Collection Optics) 평행 빔 광학계
- Geometry가 작고 가볍기 때문에 다양한 SEM에 대응
- 샘플에서 발생한 X선을 평행 빔 광학계로 포집 하여
고감도 수집이 가능. - EDS와 WDS를 하나의 소프트웨어로 통합
- EDS의 간편한 소프트웨어를 사용하여 WDS 분석가능
- X-ray의 양을 모니터링 하면서 최적의 분석 위치가 되도록 SEM의
스테이지를 자동 조절함.(Auto Focus 기능) - 스펙트럼의 중첩으로 인한 EDS 분석이 어려울 경우 그에 대응되는 WDS의
스캔 범위를 지정하여 분석이 가능함.
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Detector
- Low Energy X-ray Spectrometer (LEXS)
- Light element 분석 전용 평행 빔 WDS 검출기
- Beryllium(4) & Boron(5) 분석에 탁월함
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제 품 명 LEXS 검출 방식 평행 빔법 평행 빔광학계 HCO 검출 범위 100eV~2.4keV 분광 결정 플랫형 결정
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Detector
- Transition Elements X-ray Spectrometer (TEXS)
High Precision (HP) - 모든 원소의 검출이 가능한 평행 빔 WDS 검출기
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제 품 명 TEXS 검출 방식 평행 빔법 평행 빔광학계 HCO 검출 범위 150eV~10keV 분광 결정 플랫형 5결정 - 응용 예
- EDS로 분리할 수 없는 스펙트럼도 쉽게 분리 가능
