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  • EDAX
  • Neptune(EDS / WDS 통합 시스탬)
  • HCO(High Collection Optics) 평행 빔 방식을 이용한 고감도 WDS 분석이 가능
  • EDS와 동일한 조작으로 WDS 분석 가능
  • 기존의 광학계
  • Geometry는 원주상에 배치되기 위해 대형화 되었음
  • 샘플 분광 결정간의 거리가 길고 높은 빔 전류가 필요함
  • 시료의 손상이 큼
  • HCO(High Collection Optics) 평행 빔 광학계
  • Geometry가 작고 가볍기 때문에 다양한 SEM에 대응
  • 샘플에서 발생한 X선을 평행 빔 광학계로 포집 하여
    고감도 수집이 가능.
  • EDS와 WDS를 하나의 소프트웨어로 통합
  • EDS의 간편한 소프트웨어를 사용하여 WDS 분석가능
  • X-ray의 양을 모니터링 하면서 최적의 분석 위치가 되도록 SEM의
    스테이지를 자동 조절함.(Auto Focus 기능)
  • 스펙트럼의 중첩으로 인한 EDS 분석이 어려울 경우 그에 대응되는 WDS의
    스캔 범위를 지정하여 분석이 가능함.
  • Detector
  • Low Energy X-ray Spectrometer (LEXS)
  • Light element 분석 전용 평행 빔 WDS 검출기
  • Beryllium(4) & Boron(5) 분석에 탁월함
  • 제 품 명 LEXS
    검출 방식 평행 빔법
    평행 빔광학계 HCO
    검출 범위 100eV~2.4keV
    분광 결정 플랫형 결정
  • Detector
  • Transition Elements X-ray Spectrometer (TEXS)
    High Precision (HP)
  • 모든 원소의 검출이 가능한 평행 빔 WDS 검출기
  • 제 품 명 TEXS
    검출 방식 평행 빔법
    평행 빔광학계 HCO
    검출 범위 150eV~10keV
    분광 결정 플랫형 5결정
  • 응용 예
  • EDS로 분리할 수 없는 스펙트럼도 쉽게 분리 가능