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  • WDS
  • WDS(Wavelength Dispersive Spectroscopy )는 뛰어난 피크 분리, 정확한 미량 원소 분석 그리고 전자현미경에서
    Microprobe급의 정확성을 제공할 수 있는 최적화된 원소 검출 성능을 갖고 있으며, EDS의 단점을 보완하고 있습니다.
  • 하드웨어
  • Fully focusing spectrometer.
  • 210mm Rowland circle 2Theta 범위 33° to 135°.
  • 최대 크리스탈 갯수 : 6개.
  • 검출원소 원자번호 Z=5 (Boron)부터 분석.
  • 회절 크리스탈 종류.
    - LSM80N optimized for carbon.
    - LSM80E optimized for nitrogen.
    - LSM60 optimized for oxygen.
    - LSM200 optimized for boron.
    - LiF220 crystal.
    - LiF200 crystal.
    - PET crystal.
    - TAP Crystal.
  • 설치 : P10 gas (90% argon, 10% methane ) 필요.
  • 잉카(INCA) 소프트웨어
  • Wavelength Dispersive Spectroscopy (WDS) 소프트웨어, INCAWave,는 최적의 WDS의 감도(Sensitivity)와
    해상(Resolution) 를 제공하고 있습니다.
  • - 500pppm이하에서 정확한 정량분석.
    - Peak 중첩이 있는 시료라도 모든 원소의
      분포를 쉽고 명확하게 결정.
    - 전자현미경에 사용되는 원소 분석 장치
      중에서 가장 정확한 결과 제공.
  • - Sulfur/Molybdenum 같은 중요한 Peak 중첩을
      해결할 수 있는 해상도(Resolution) : 10eV 이하.
    - 미량원소 분석시 EDS System보다 최대 100배
      이상의 감도 제공.
    - 미량원소 분석시 WD를 사용하여 EPMA급의
      정확도를 제공하며, EDS를 사용하여 주원소 분석.
  • INCAEnergy+ 는 WDS와 EDS를
    조합하여 WDS의 감도(Sensitivity)와
    해상도(Resolution) 그리고, EDS의
    생산성과 사용 편리성을 제공합니다.
  • 정성분석.
  • 정확한 미량 원소 분석을 포함한 정량분석.
  • 미량 원소의 정확한 X-ray 맵핑과 X-ray 피크
    중첩 해석.
  • 특징
  • 해상도 최저 2eV.
  • 뛰어난 검출 한계, 100ppm 이하.
  • 분석 원소 에너지 범위 10.8keV.
  • XPP 매트릭스 보정 알고리즘을 위용한 정확한
    정량 분석.
  • 25년 이상 개발되어온 안정적이고 우수한 기계.
  • 다양한 전자현미경 (conventional, variable vacuum,
    environmental, field emission)에 사용 가능.
  • 경원소를 포함한 시료나, Low beam current(<5nA)를
    이용한 높은 스파샬 Resolution 분석 결과 제공.