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- CUBE-Ⅱ spec
CUBE-Ⅱ specification
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Model | CUBE-Ⅱ | ||
스테이지 | 5축 스테이지 - X : 42mm (자동) ![]() ![]() ![]() ![]() - R : 360° (Beam Rotation) |
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진공모드 | High Vacuum Mode (<9×10-3 Pa) Charge Reduction Mode |
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진공 시스템 |
전 자동화 진공 시스템 - 터보 펌프 - 로터리 펌프 - 전자 밸브 시스템 |
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전자총 | 텅스텐 필라멘트(Pre-centered Tungsten Filament) | ||
디텍터 | 이차전자(SEI)![]() |
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분해능 | 5.0nm (SE Image at 30kV) | ||
배율 | x10 ~ x200,000 | ||
가속전압 | 1kV ~ 30kV | ||
전자빔 이동 | 100μm | ||
최대 시료 사이즈 | 가로, 세로: 140mm![]() |
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Working Distance | 5 ~ 53mm | ||
시료 로딩 시간 | 120초(진공)![]() |
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자동기능 | 자동밝기 & 명암조절![]() ![]() |
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이미지 저장방식 | JPG![]() ![]() ![]() |
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관찰모드 | Focus Mode : 320 x 240 pixel, Resizable Preview Mode : 800 x 600 Slow Mode : Applicable to both preview and focus mode Photo Mode : Up to 3200 x 2400 |
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제품 사이즈(mm) | W X D X H = 410mm x 440mm x 520mm![]() |
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운영체제(PC) | Windows 10-based All-in-One 21.5” Workstation![]() |
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옵션 장비 | Chamber Camera![]() ![]() ![]() ![]() 네비게이션 기능 ※ 장착 가능 EDS : Oxford Instruments, Thermo, Bruker, EDAX, EVAX |
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전원 | Single Phase : 100 ~ 240VAC, 50 / 60Hz, 1kVA |