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CUBE-Ⅱ specification
Model CUBE-Ⅱ
스테이지 5축 스테이지
- X : 42mm (자동) Y : 42mm (자동) - Z : 5 ~ 53mm (자동) - T : -90° ~ 90° (수동)
- R : 360° (Beam Rotation)
진공모드 High Vacuum Mode (<9×10-3 Pa)
Charge Reduction Mode
진공 시스템 전 자동화 진공 시스템
- 터보 펌프
- 로터리 펌프
- 전자 밸브 시스템
전자총 텅스텐 필라멘트(Pre-centered Tungsten Filament)
디텍터 이차전자(SEI)후방산란전자(4Channel BSE Detector)
분해능 5.0nm (SE Image at 30kV)
배율 x10 ~ x200,000
가속전압 1kV ~ 30kV
전자빔 이동 100μm
최대 시료 사이즈 가로, 세로: 140mm높이 : 80mm
Working Distance 5 ~ 53mm
시료 로딩 시간 120초(진공)10초(해제)
자동기능 자동밝기 & 명암조절자동초점자동 비점 조절
이미지 저장방식 JPGTIFFBMPPNG
관찰모드 Focus Mode : 320 x 240 pixel, Resizable
Preview Mode : 800 x 600
Slow Mode : Applicable to both preview and focus mode
Photo Mode : Up to 3200 x 2400
제품 사이즈(mm) W X D X H = 410mm x 440mm x 520mm65kg
운영체제(PC) Windows 10-based All-in-One 21.5” Workstation100% 키보드와 마우스로 작동
옵션 장비 Chamber CameraEDS(All-in-one Model of SEM-EDS)자동 로테이션자동 틸트
네비게이션 기능
※ 장착 가능 EDS : Oxford Instruments, Thermo, Bruker, EDAX, EVAX
전원 Single Phase : 100 ~ 240VAC, 50 / 60Hz, 1kVA