- SEM(Scanning Electron Microscope)
- 제품안내
- SEM
- Genesis-1000 / 1100
GENESIS-1000 / 1100 (수동 스테이지)
- 1. 간단하고 이해하기 쉬운 사용자 인터페이스.
2. 5축 수동 스테이지 시스템
- X,Y : 40mm
- Z : 5 ~ 45mm
- T : -20° ~ 90°
- R : 360°
3. 최대 샘플 크기
- 가로 : 96mm, 세로 : 50mm
4. X 10 ~ X 300,000 배율의 높은 성능.
5. 편리한 자동 기능
- Auto Focus, Auto Brightness & Contrast,
Auto Gun Alignment, Auto Saturation -
6. 고해상도 이미지 구현
- Genesis-1000 : 3nm (30kV, SE Image)
- Genesis-1100 : 3nm (30kV, SE Image) / 4nm (BSE Image)
7. 소음이 적은 Turbo Pump 사용 (3분 이내 분석 가능)
8. 콤팩트한 디자인 설계로 최소한의 공간(1m2)으로 설치가능
9. 진공 모드
- Genesis-1000 : High Vacuum only (<9 x 10-3Pa)
- Genesis-1100 : Variable Pressure(10 ~ 230Pa)
10. 검출기
- Genesis-1000 : SE(ET Type)
- Genesis-1100 : SE(ET Type) / BSE(4Channel, Semiconductor)
11. 독자적인 제품 개발로 신속하고 빠른 A/S
12. Optional Detector 부착으로 다양한 종류의 시료분석 가능.
- 4Channel BSEEDS
EBSD
WDS
CL
Raman SpectroscopyLaB6 / Cebix Upgrade
E-beam Lithography3D Imaging
Chamber Camera
- GENESIS Image (1000 / 1100)
※ 본, 이미지는 제품의 이해를 높이기 위해 제작된 이미지로 실제 제품과 형태, 색상, 재질, 크기, 내용 등에 있어 다소 차이가 있을 수 있습니다.