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  • Genesis-2020 / 2120
GENESIS-2020 / 2120 (자동 스테이지)
  • 1. 간단하고 이해하기 쉬운 사용자 인터페이스.
    2. 5축 자동 스테이지 시스템
        - X : 90mm
        - Y : 60mm
        - Z : 5 ~ 60mm
        - T : -20° ~ 90°
        - R : 360°
    3. 최대 샘플 크기
        - 가로 : 150mm, 세로 : 60mm
    4. X 10 ~ X 300,000 배율의 높은 성능.
    5. 편리한 자동 기능
        - Auto Focus, Auto Brightness & Contrast,
          Auto Gun Alignment, Auto Saturation
  • 6. 고해상도 이미지 구현
        - Genesis-2020 : 3nm (30kV, SE Image)
        - Genesis-2120 : 3nm (30kV, SE Image) / 4nm (BSE Image)
    7. 소음이 적은 Turbo Pump 사용 (3분 이내 분석 가능)
    8. 콤팩트한 디자인 설계로 최소한의 공간(1m2)으로 설치가능
    9. 진공 모드
        - Genesis-2020 : High Vacuum only (<9 x 10-3Pa)
        - Genesis-2120 : Variable Pressure(10 ~ 230Pa)
    10. 검출기
        - Genesis-2020 : SE(ET Type)
        - Genesis-2120 : SE(ET Type) / BSE(4channel, Semiconductor)
    11. 독자적인 제품 개발로 신속하고 빠른 A/S
    12. Optional Detector 부착으로 다양한 종류의 시료분석 가능.
         - 4Channel BSEEDSEBSDWDSCL
           Raman SpectroscopyLaB6 / Cebix Upgrade
           E-beam Lithography3D ImagingChamber Camera
  • GENESIS Image (2020 / 2120)
※ 본, 이미지는 제품의 이해를 높이기 위해 제작된 이미지로 실제 제품과 형태, 색상, 재질, 크기, 내용 등에 있어 다소 차이가 있을 수 있습니다.