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GENESIS-Series specification
Model Genesis-1000 Genesis-1100 Genesis-2020 Genesis-2120
스테이지 5축 수동 스테이지 
- X : 40mm (-20mm ~ 20mm)
- Y : 40mm (-20mm ~ 20mm)
- Z : 5 ~ 45mm
- T : -20° ~ 90°
- R : 360°
5축 자동 스테이지
- X : 90mm (-45mm ~ 45mm)
- Y : 60mm (-30mm ~ 30mm)
- Z : 5 ~ 60mm
- T : -20° ~ 90°
- R:360°
가변압력 X O X O
진공모드 High Vacuum only (<9×10-3Pa) High Vacuum Mode (<9×10-3Pa)
Low Vacuum Mode (10~230Pa)
High Vacuum only
(<9×10-3Pa)
High Vacuum Mode (<9×10-3Pa)
Low Vacuum Mode (10~230Pa)
진공 시스템 전 자동화 진공 시스템
- 터보 펌프
- 로터리 펌프
- 전자 밸브 시스템
전자총 텅스텐 필라멘트(Pre-centered Tungsten Filament)
디텍터 이차전자(SEI) 이차전자(SEI)
후방산란전자(4Channel BSE Detector)
이차전자(SEI) 이차전자(SEI)
후방산란전자(4Channel BSE Detector)
분해능 3.0nm (SE Image) 3.0nm (SE Image)
5.0nm (BSE Image)
3.0nm (SE Image)
3.0nm (SE Image)
5.0nm (BSE Image)
배율 x10 ~ x300,000
가속전압 200V ~ 30kV
Objective IRIS 20 / 20 / 50 / 100μm (Variable aperture)
전자빔 이동 100μm
최대 시료 사이즈 가로 : 96mm세로 : 50mm 가로 : 150mm세로 : 60mm
보정기능 Dynamic FocusPoint & Line Scan, Tilt Compensation
Working Distance 0 ~ 45mm 0 ~ 60mm
자동기능 자동밝기 & 명암조절자동초점자동 비점 조절
이미지 저장방식 JPGTIFFBMPPNG
관찰모드 Focus Mode : 320 × 240 pixel, Resizable
Preview Mode : 800 × 600
Slow Mode : Applicable to both preview and focus mode
Photo Mode : Up to 3200 × 2400
제품 사이즈(mm) Installation Dimension : 1800 (W) x 600 (D)
- Main System : 600 (W) x 623 (D) x 1350 (H), 130Kg
- Rotary Pump : 454 (W) x 134 (D) x121 (H), 22Kg
제공 악세서리 Factory-centered Filament Cartridge 1box(10units)Specimen Mounts 1box(10units), Tweezer
Carbon TapeHex. Driver 0.89mm (1 ea.)Hex. T Wrench 2.5mm (2 ea.)
운영체제(PC) Windows10 -based All-in-One 21.5” Workstation100% 키보드와 마우스로 작동
옵션 장비 EBSD(Electron Back Scattered Diffraction) EDS(Energy Dispersive Spectroscopy) WDS(Wavelength Dispersive Spectroscopy)CL(Cathodoluminescent) Image
Chamber CameraLaB6 / CeB6 Upgrade 3D Imaging Raman Spectroscopy
E-beam Lithography
전원 Single Phase : 100 ~ 240VAC, 50 / 60Hz, 1kVA