• 
• 제품안내
• SEM
• SOFTWARE
• OPTIONAL DEVICES
• SUPPLIES

• SEM(Scanning Electron Microscope)
• 제품안내
• SEM
• VERITAS-3000 / 3100

• Overview
• Specification
• Application
• Cube-Series
• Genesis-Series

• 1. 간단하고 이해하기 쉬운 사용자 인터페이스.
  2. 넓은 영역의 시료 관찰 및 대형 샘플 비파괴 분석 가능.
  3. X 10 ~ X 300,000 배율의 높은 성능.
  4. 편리한 자동 기능
      - Auto Focus, Auto Brightness & Contrast,
        Auto Gun Alignment, Auto Saturation
  5. 고해상도 이미지 구현.
      - Veritas-3000 : 3nm (30kV SE Image)
      - Veritas-3100 : 3nm (30kV SE Image) /
                             4nm (BSE Image)
  6. 시료 장착 후 3분 이내 분석 가능
  
• 7. 진공모드
      - Veritas-3000 : High Vacuum only (<9 x 10^-3Pa)
      - Veritas-3100 : Variable Pressure(10 ~ 230Pa)
  8. 검출기
      - Veritas-3000 : SE(ET Type)
      - Veritas-3100 : SE(ET Type) / BSE(4Channel, Semiconductor)
  9. 독자적인 제품 개발로 신속하고 빠른 A/S
  10. Optional Detector 부착으로 다양한 종류의 시료분석 가능.
       - 4Channel BSEEDSEBSDWDSCL
         Raman SpectroscopyLaB₆ / Cebix Upgrade
         E-beam Lithography3D ImagingChamber Camera
• 
• 11. 5축 초장축 자동스테이지 탑제
        - Chamber 내부크기 : 230(W) x 210(D) x 260(H) mm
        - 최대 샘플 크기 : 가로 : 210mm, 세로 : 65mm
        - 최대 샘플 무게 : 2kg
        - 스테이지 이동 범위 : X,Y : 120mmZ : 5 ~ 65mmT : -20° ~ 90°R : 360°
  

• 분석가능 시료
• 1. Large Sample Analysis
    기존의 Genesis 제품으로 분석이 불가능했던 큰 시료의 분석이 가능. ex) Wafer, Disk
• 
• 
• 2. Non-destructive Sample Analysis
    대형 시료의 비파괴 분석이 가능.
    ex) PCB, Semiconductor pattern Analysis
• 3. Heavy Sample Analysis
    최대 2kg 무게의 시료 분석이 가능.
    ex) Rock, Iron Ore
• 
• 
• VERITAS Image (3000 / 3100)
• 
• 

※ 본, 이미지는 제품의 이해를 높이기 위해 제작된 이미지로 실제 제품과 형태, 색상, 재질, 크기, 내용 등에 있어 다소 차이가 있을 수 있습니다.