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VERITAS-Series specification
Model Veritas-3000 Veritas-3100
스테이지 5축 자동 스테이지
- X,Y : 120mm(-60mm ~ 60mm) - Z : 5 ~ 65mm - T : -20° ~ 90° - R : 360°
가변압력 X O
진공모드 High Vacuum Mode (<9×10-3Pa) High Vacuum Mode (<9×10-3Pa)
Low Vacuum Mode(10 ~ 230Pa)
진공 시스템 전 자동화 진공 시스템
- 터보 펌프
- 로터리 펌프
- 전자 밸브 시스템
전자총 텅스텐 필라멘트(Pre-centered Tungsten Filament)
디텍터 이차전자(SEI) 이차전자(SEI)
후방산란전자(4Channel BSE Detector)
분해능 3.0nm (SE Image at 30kV) 3.0nm (SE Image)
5.0nm (BSE Image)
배율 x10 ~ x300,000
가속전압 200V ~ 30kV
Objective IRIS 20 / 20 / 50 / 100μm (Variable aperture)
전자빔 이동 100μm
최대 시료 사이즈 가로 : 210mm세로 : 65mm
보정기능 Dynamic FocusPoint & Line ScanTilt Compensation
Working Distance 0 ~ 65mm
자동기능 자동밝기 & 명암조절자동초점자동 비점 조절
이미지 저장방식 JPGTIFFBMPPNG
관찰모드 Focus Mode : 320 x 240 pixel, Resizable
Preview Mode : 800 x 600
Slow Mode : Applicable to both preview and focus mode
Photo Mode : Up to 3200 x 2400
제품 사이즈(mm) Installation Dimension : 2000 (W) x 800 (D)
- Main System : 800 (W) x 825 (D) x 1500 (H), 200kg
- Rotary Pump : 454 (W) x 134 (D) x 212 (H), 22kg
제공 악세서리 Factory-centered Filament Cartridge 1box(10units)Specimen Mounts 1box(10units), TweezerCarbon TapeHex. Driver 0.89mm (1 ea.)Hex. T Wrench 2.5mm (2 ea.)
운영체제(PC) Windows 10-based All-in-One 21.5” Workstation100% 키보드와 마우스로 작동
옵션 장비 Chamber CameraLaB6/Ceb6 upgrade 3D ImagingRaman Spectroscopy
EDS(Energy Dispersive Spectroscopy)EBSD(Electron Back Scattered Diffraction)
WDS(Wavelength Dispersive Spectroscopy)CL(Cathodoluminescence) Image
E-beam Lithography
전원 Single Phase : 100 ~ 240VAC, 50 / 60Hz, 1kVA