- SEM(Scanning Electron Microscope)
- 제품안내
- SEM
- VERITAS-Series spec
VERITAS-Series specification
![]() |
![]() |
![]() |
|||
Model | Veritas-3000 | Veritas-3100 | |||
스테이지 | 5축 자동 스테이지 - X,Y : 120mm(-60mm ~ 60mm) ![]() ![]() ![]() |
||||
가변압력 | X | O |
|||
진공모드 | High Vacuum Mode (<9×10-3Pa) | High Vacuum Mode (<9×10-3Pa) Low Vacuum Mode(10 ~ 230Pa) |
|||
진공 시스템 |
전 자동화 진공 시스템 - 터보 펌프 - 로터리 펌프 - 전자 밸브 시스템 |
||||
전자총 | 텅스텐 필라멘트(Pre-centered Tungsten Filament) | ||||
디텍터 | 이차전자(SEI) | 이차전자(SEI)![]() 후방산란전자(4Channel BSE Detector) |
|||
분해능 | 3.0nm (SE Image at 30kV) | 3.0nm (SE Image) 5.0nm (BSE Image) |
|||
배율 | x10 ~ x300,000 | ||||
가속전압 | 200V ~ 30kV | ||||
Objective IRIS | 20 / 20 / 50 / 100μm (Variable aperture) | ||||
전자빔 이동 | 100μm | ||||
최대 시료 사이즈 | 가로 : 210mm![]() |
||||
보정기능 | Dynamic Focus![]() ![]() |
||||
Working Distance | 0 ~ 65mm | ||||
자동기능 | 자동밝기 & 명암조절![]() ![]() |
||||
이미지 저장방식 | JPG![]() ![]() ![]() |
||||
관찰모드 | Focus Mode : 320 x 240 pixel, Resizable Preview Mode : 800 x 600 Slow Mode : Applicable to both preview and focus mode Photo Mode : Up to 3200 x 2400 |
||||
제품 사이즈(mm) | Installation Dimension : 2000 (W) x 800 (D) - Main System : 800 (W) x 825 (D) x 1500 (H), 200kg - Rotary Pump : 454 (W) x 134 (D) x 212 (H), 22kg | ||||
제공 악세서리 | Factory-centered Filament Cartridge 1box(10units)![]() ![]() ![]() ![]() |
||||
운영체제(PC) | Windows 10-based All-in-One 21.5” Workstation![]() |
||||
옵션 장비 | Chamber Camera![]() ![]() ![]() EDS(Energy Dispersive Spectroscopy) ![]() ![]() WDS(Wavelength Dispersive Spectroscopy) ![]() ![]() E-beam Lithography |
||||
전원 | Single Phase : 100 ~ 240VAC, 50 / 60Hz, 1kVA |