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VERITAS-Series specification
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| Model | Veritas-3000 | Veritas-3100 | |||
| 스테이지 | 5축 자동 스테이지 - X,Y : 120mm(-60mm ~ 60mm)  - Z : 5 ~ 65mm - T : -20° ~ 90° - R : 360° |
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| 가변압력 | X | O |
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| 진공모드 | High Vacuum Mode (<9×10-3Pa) | High Vacuum Mode (<9×10-3Pa) Low Vacuum Mode(10 ~ 230Pa) |
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| 진공 시스템 |
전 자동화 진공 시스템 - 터보 펌프 - 로터리 펌프 - 전자 밸브 시스템 |
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| 전자총 | 텅스텐 필라멘트(Pre-centered Tungsten Filament) | ||||
| 디텍터 | 이차전자(SEI) | 이차전자(SEI) 후방산란전자(4Channel BSE Detector) |
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| 분해능 | 3.0nm (SE Image at 30kV) | 3.0nm (SE Image) 5.0nm (BSE Image) |
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| 배율 | x10 ~ x300,000 | ||||
| 가속전압 | 200V ~ 30kV | ||||
| Objective IRIS | 20 / 20 / 50 / 100μm (Variable aperture) | ||||
| 전자빔 이동 | 100μm | ||||
| 최대 시료 사이즈 | 가로 : 210mm세로 : 65mm |
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| 보정기능 | Dynamic FocusPoint & Line ScanTilt Compensation |
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| Working Distance | 0 ~ 65mm | ||||
| 자동기능 | 자동밝기 & 명암조절자동초점자동 비점 조절 |
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| 이미지 저장방식 | JPGTIFFBMPPNG |
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| 관찰모드 | Focus Mode : 320 x 240 pixel, Resizable Preview Mode : 800 x 600 Slow Mode : Applicable to both preview and focus mode Photo Mode : Up to 3200 x 2400 |
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| 제품 사이즈(mm) | Installation Dimension : 2000 (W) x 800 (D) - Main System : 800 (W) x 825 (D) x 1500 (H), 200kg - Rotary Pump : 454 (W) x 134 (D) x 212 (H), 22kg | ||||
| 제공 악세서리 | Factory-centered Filament Cartridge 1box(10units)Specimen Mounts 1box(10units), TweezerCarbon TapeHex. Driver 0.89mm (1 ea.)Hex. T Wrench 2.5mm (2 ea.) |
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| 운영체제(PC) | Windows 10-based All-in-One 21.5” Workstation100% 키보드와 마우스로 작동 |
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| 옵션 장비 | Chamber CameraLaB6/Ceb6 upgrade
3D ImagingRaman Spectroscopy EDS(Energy Dispersive Spectroscopy) EBSD(Electron Back Scattered Diffraction)WDS(Wavelength Dispersive Spectroscopy) CL(Cathodoluminescence) ImageE-beam Lithography |
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| 전원 | Single Phase : 100 ~ 240VAC, 50 / 60Hz, 1kVA | ||||
